真空微波干燥箱主要由微波真空加熱器、電控系統、微波發生器、真空系統、干燥盤及支架、機架等組成。
1、微波真空加熱器：是一個由不銹鋼等制成的矩形微波諧振腔，有6組微波發生器組成的諧振場，它具有諧振模式數多、磁場分布均勻、駐波系數小等特點；干燥盤支架采用組合式結構，拆裝方便。易于清潔維護。支架上可放置16個標準干燥托盤。
2、電控系統：是供給本系列設備的電源，實現設備自動運行的裝置，由電控箱，PLC及控制屏、各種電器裝置組成。根據干燥物品的特點，設備將自動運行，設有圖像監視，可隨時觀察物料的干燥情況，電器設備中有各種不同的安全保護措施，以保證設備及工作人員的安全。
3、微波發生器：由磁控管、變壓器、電容器、高壓硅整流器，發射激勵器等組成。
4、真空系統：由緩沖罐、水環式真空泵、單向閥、汽水分離器等組成。汽水分離器檢測到有一定水位后，可以啟動真空泵。
水冷卻系統承擔變壓器冷卻和真空泵冷卻，打開電動閥后，檢測到一定流量的水，才能啟動微波發生器。
